การตรวจจับการมีอยู่ การยื่นออกมา และการเอียงของแผ่นเวเฟอร์ใน FOUP

การตรวจจับการมีอยู่ของเวเฟอร์ การยื่นออกมา และการเอียงภายใน FOUP ดำเนินการโดยใช้เซ็นเซอร์ BGS‑HDL สองตัว เนื่องจาก BGS‑HDL มีช่องออกควบคุมสองช่อง จึงสามารถตรวจจับการมีอยู่ของเวเฟอร์ได้ผ่านช่องออก 1 และตรวจจับการยื่นออกมาได้ผ่านช่องออก 2 สามารถกำหนดมุมเอียงของเวเฟอร์ได้จากช่วงเวลาเปิด/ปิด (ON/OFF) ของเอาต์พุต 1 จากเซ็นเซอร์ด้านซ้ายและด้านขวา

• เลเซอร์เซนเซอร์ความแม่นยำสูง

  ซีรีส์ BGS-HL/BGS-HDL

  เลเซอร์เซนเซอร์ BGS ความละเอียดสูง