การตรวจจับการมีอยู่ การยื่นออกมา และการเอียงของแผ่นเวเฟอร์ใน FOUP

การตรวจจับการมีอยู่ของเวเฟอร์ การยื่นออก และการเอียงภายใน FOUP ดำเนินการโดยใช้เซ็นเซอร์ BGS‑HDL สองตัว เนื่องจาก BGS‑HDL มีช่องออกควบคุมสองช่อง จึงสามารถตรวจจับการมีอยู่ของเวเฟอร์ได้ผ่านช่องออก 1 และตรวจจับการยื่นออกได้ผ่านช่องออก 2 สามารถกำหนดมุมเอียงของเวเฟอร์ได้จากช่วงเวลาเปิด/ปิด (ON/OFF) ของเอาต์พุต 1 ของเซ็นเซอร์ด้านซ้ายและด้านขวา

• ความแม่นยำสูง เลเซอร์เซนเซอร์

  BGS-HL/BGS-HDL ซีรีส์

  เซ็นเซอร์เลเซอร์ BGS ความละเอียดสูง