การวัดความบิดเบี้ยวของหน้ากากการฉายแสง

ในกระบวนการถ่ายโอนมาสก์ จะมีการวัดระยะห่างจากมาสก์การฉายแสง และใช้ข้อมูลดังกล่าวเพื่อควบคุมหุ่นยนต์หยิบและวางแบบสุญญากาศ เพื่อป้องกันความเสียหายต่อมาสก์ที่มีมูลค่าสูง เนื่องจากกลุ่มผลิตภัณฑ์เซ็นเซอร์วัดระยะด้วยเลเซอร์แบบวัดการเคลื่อนที่ (CD33) CMOS มีรุ่นที่ใช้การสะท้อนแบบสเปคคูลาร์ จึงสามารถวัดตำแหน่งพื้นผิวของมาสก์การฉายแสงที่โปร่งใสได้อย่างแม่นยำสูง ทำให้การถ่ายโอนสามารถดำเนินการได้โดยไม่เกิดความเสียหาย

• เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์ขนาดเล็ก

  ซีรีส์ CD33

  ขนาดครึ่งฝ่ามือ เหมาะสำหรับการติดตั้งในเครื่องที่มีขนาดเล็ก