การวัดความบิดเบี้ยวของหน้ากากการฉายแสง

ในกระบวนการถ่ายโอนมาสก์ จะมีการวัดระยะห่างจากมาสก์การฉายแสงและใช้ข้อมูลดังกล่าวเพื่อควบคุมหุ่นยนต์หยิบและวางแบบสุญญากาศ เพื่อป้องกันความเสียหายต่อมาสก์ที่มีมูลค่าสูง เนื่องจากกลุ่มผลิตภัณฑ์เซ็นเซอร์วัดการเคลื่อนที่ด้วยเลเซอร์ CMOS รุ่น CD33 มีรุ่นที่ใช้การสะท้อนแบบสเปคคูลาร์ จึงสามารถวัดตำแหน่งพื้นผิวของมาสก์การฉายแสงที่โปร่งใสได้อย่างแม่นยำสูง ทำให้การถ่ายโอนสามารถดำเนินการได้โดยไม่เกิดความเสียหาย

• เล็ก เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์

  CD33 ซีรีส์

  ขนาดครึ่งฝ่ามือ เหมาะสำหรับการติดตั้งในเครื่องที่มีขนาดเล็ก