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導線框架使用螢幕型（陣列型）NF-DZ01偵測。由於偵測採用螢幕形狀光束，因此不會受到目標穿孔的影響。
光纖模組
光纖模組用於光幕檢測
晶圓映射（3）
檢測晶圓框架邊緣
檢測FOUP中晶圓的存在、凸起和傾斜情況
矽片錯位檢測
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