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矽片錯位檢測

  • 矽片錯位檢測

BGS-HDL系列能偵測矽晶圓在晶圓階段的錯位。錯位晶圓可比正常高出多達5毫米，而BGS-HDL05T能偵測0.08毫米的高度差，確保高精度性能。

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