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檢測晶圓框架邊緣

  • 檢測晶圓框架邊緣

BGS-HL（型號：系列）可偵測晶圓框的邊緣。BGS-HL25T2憑藉其在 250 mm 距離處僅有 φ1 mm 的光點尺寸，能夠偵測如晶圓框這類極薄的物體。

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