晶圓對準控制

晶圓對準是透過D4RF型系列數位光纖感測器，以及NF-TK77光纖纜線來控制的。由於NF-TK77的光纖允許彎曲半徑僅為1毫米，因此可穿過設備中的狹窄間隙，實現極小空間內的布線。此外，還能確保穩定的偵測效果，且完全無斷裂風險。

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