測量玻璃基板的厚度及曝光光罩的高度

利用鏡面反射型CMOS雷射位移感測器CD33-L30，曝光遮罩高度控制與玻璃厚度測量皆可在同一裝置中完成。測量曝光遮罩的距離以調整最佳高度;隨後，當玻璃基板通過上方時，測量其厚度。對於高透明度玻璃基板，厚度可從一側測量0.7毫米或更大，免除對向雙感測器配置的需求。

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