測量曝光掩模的翹曲度

在光罩轉移過程中，會測量與曝光光罩之間的距離，並以此控制真空拾放機器人，以防止高價值光罩受損。由於CD33 CMOS雷射位移感測器產品線中包含鏡面反射型感測器，因此能夠高精度地測量透明曝光光罩的表面位置，從而實現無損轉移。

• 小雷射位移計

  CD33系列

  半掌大小。非常適合與小型機器內建使用。