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웨이퍼 정렬 제어

  • 웨이퍼 정렬 제어

웨이퍼 정렬은 D4RF 시리즈 디지털 광섬유 센서와 NF-TK77 광섬유 케이블을 사용하여 제어됩니다. NF-TK77의 허용 굽힘 반경이 1mm에 불과하기 때문에 장비 내의 좁은 틈새를 통과시켜 최소한의 공간에서도 배선이 가능합니다. 또한, 파손 위험 없이 안정적인 감지가 이루어집니다.

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활용 사례 반도체용

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