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FOUP 감지

  • FOUP 감지

유리 기판의 좌석은 제한 반사형 NF-DC38을 사용하여 검출됩니다. 제한 반사 타입이기 때문에 FOUP가 투명하더라도 안정적인 검출이 가능합니다.

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